M5芯片采用了台积电最新的3nm工艺(N3P),相较于上一代M4芯片,在能效和性能上分别提升了5%至10%和约5%。此外,M5芯片还引入了台积电的垂直堆叠技术 (TSMC SoIC-MH)封装技术。