Seit mehr als 50 Jahren ermöglicht es die Lithografie die steigende Nachfrage nach den neusten ICs zu erfüllen – und sie ...

Mit der Erhöhung der numerischen Apertur steigt auch die Leistungsaufnahme weiter. Noch dazu ist die Lichtquelle enorm groß. Daher arbeiten Forscher seit Jahren an effizienteren und kleineren ...