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全自动晶圆2D/3D AOI光学检验机
操作员不接触wafer，避免了污染和损伤wafer。 性能描述： 标准配备1个Load port，单臂翻转Robot，Pre-aligner，目检台和显微镜。 兼容8寸和12寸wafer 标准load port可以对应FOUP，AutoFOSB自动开盖，具备mapping功能 高精度运动机构，低噪音，低尘，无需供油。 触摸屏操作 ...
instrument1 年
WAFER AOI光学检验系统
操作员不接触wafer，避免了污染和损伤wafer。 性能描述： 标准配备1个Load port，单臂翻转Robot，Pre-aligner，目检台和显微镜。 兼容8寸和12寸wafer 标准load port可以对应FOUP，AutoFOSB自动开盖，具备mapping功能 高精度运动机构，低噪音，低尘，无需供油。 触摸屏操作 ...